Haupt
KRI Hall-Ionenquelle Gridless
CTI An Bord ist 低温泵
HVA Vakuumrechteckventil
Vollmagnetische schwimmende Turbomolekularpumpe
Thermonics Ultratiefkühler
Instrument und Zähler
Vollmagnetische schwimmende Turbomolekularpumpe ATH 1600 MT
Thermonics Tieftemperatur Wasserkühler A-80-1700, Luftgekühlt
Hakuto Ionenätzmaschine IBE
Hakuto Ionenätzmaschine 20IBE-J
HVA Rechteckventile (Steckventile) Serie 88200
CTI On-Board® ist 320FX 低温泵
USA KRI Hall Ionenquelle Gridless eH Serie
USA KRI Hall Ionenquelle eH 400
USA KRI Hall Ionenquelle eH 1000
Wärmekathodenvakuummeter PBR 260 IMR 265
Erfolgreicher Betrieb!