OTL-PECVD-1200-1400-1200 Drei-Temperaturzonen-PECVD-System, bestehend aus drei Schieberöhröfen, Quarzvakuumkammern, HF-Stromversorgung, GX-Gasversorgungssystem, Pumpsystem, Vakuummessystem und elektrischem Schleppmotor.

Hauptmerkmale:

1, das Gas im Quarzvakuumkammer durch die HF-Stromversorgung in den Ionenzustand umwandeln.

PECVD hat niedrigere Temperaturen als herkömmliche CVD zur Ablagerung chemischer Gase

3. Die Spannungsgröße des abgelagerten Films kann durch die Frequenz der HF-Stromversorgung gesteuert werden

4, PECVD als normales CVD für eine hohe chemische Gasphase-Ablagerungsrate, eine gute Gleichmäßigkeit, Konsistenz und hohe Stabilität.

5, weit verbreitet in: Wachstum verschiedener Dünnfolien, wie: SiOx, SiNx, SiOxNy und amorphoses Silizium (a-Si: H).

Dieses PECVD-System mit drei Temperaturzonen ist ein PECVD-System, das schnell heizen und kühlen kann. Es ist ein Paar elektrischer Gleitschienen, die in drei Rohröfen installiert sind, und ein elektrisches Gleitsystem verfügbar ist. Heiz- und Kühlgeschwindigkeiten bis zu 100°C/min. Um die schnellste Erwärmung zu erreichen, können Sie den Ofen auf die eingestellte Temperatur vorheizen und den Ofen in die Probe verschiebenSetzen. Um eine schnellste Abkühlung zu erzielen, kann der Ofen nach der Erhitzung der Probe zum anderen Ende verschieben werden. Erwärmungs- und Kühlgeschwindigkeiten können unter Vakuum oder Inertgas erreicht werden10 ° C / s ist ein kostengünstiges PECVD-System für schnelle Heizung und Kühlung mit zwei Temperaturzonen.

Dieses Drei-Temperatur-Zone-PECVD-System mit schwedischem Kanthal-Widerstandsdraht und Silizium-Kohlenstoffstab als Heizelement, mit doppelschichtiger Gehäusestruktur und 30-Abschnitt-Prozess-Temperaturmessgerät, Phasenverschiebung-Auslöser, steuerbare Siliziumsteuerung, Ofen mit japanischem importierten Polykristallfasermaterial aus Aluminiumoxid, Ofenrohr mit Edelstahlflanschen und VentilenUnd das Druckmesser, das Vakuum beim Pumpen kann 10-3 Pa erreichen, in zwei Temperaturzonen unterteilt, können zwei Temperaturzonen unabhängig gesteuert werden, verschiedene Temperaturen eingestellt werden, einfach zu bedienen, der Ofen hat das Gleichgewicht des Temperaturfelds, niedrige Oberflächentemperatur, schnelle Kühltemperatur, Energieeinsparung und andere Vorteile, ist Hochschulen, Forschungsinstitute, Bergbauunternehmen, die hohe Temperatur Atmosphäre verbrennen Das ideale Produkt für Knoten, das Wachstum von Graphen und das Wachstum verschiedener Dünnfolien.

(1) Die heiße Dicke des Siliziumkahlstoffstabs d beträgt 14mm, der allgemeine Hersteller verwendet 12mm, die Heizungsende ist dick, nicht leicht zu biegen, die Oberflächenlast des Stabes ist niedrig und die Lebensdauer ist lang.

（2), m kalte End Länge ist 210 mm, allgemeine Hersteller verwenden 180 mm, kalte End lange Ofen Oberfläche Temperatur niedrig.

(3) Silizium-Kohlenstoffstab Oberfläche oxidiert nicht kristalline Folie dicht, kann Kohlenstoffstab besser schützen.

Wenn die Schaltung überstromt oder leckt, wird die Leeröffnung automatisch getrennt

Der AtmosphärenofenKannAusgestattet mit Kommunikationsschnittstelle und Software, kann man die verschiedenen Parameter des Ofens direkt über den Computer steuern, und kann den Betrieb der PV- und SV-Temperaturwerte und -messgeräte auf dem Ofen vom Computer beobachten, der Computer der tatsächlichen Erwärmungskurve des Ofens wird in Echtzeit gezeichnet und kann die Temperaturdaten jedes Moments speichern, kann jederzeit ausgerufen werden.

(1) Hochwertige Polykristalline Aluminiumoxidfaserhärtungsofen für Vakuumfilterung.
(2) Einführung japanischer Technologie.
(3), niedrige Wärmekapazität des Ofenmaterials, niedrige Wärmeleitfähigkeit, wodurch weniger Wärmeabkühlung, gute Isolation und hohe Reflexivität. Temperaturgleichgewicht.
(4), der Ofen Aluminiumoxid-Draht ist dünn und lang, hohe Temperaturbeständigkeit, starke Wärmeerhöhung und Kühlkapazität
(5) Die Oberfläche des Ofens ist sauber und nicht leicht zu pulverieren.

(Alle importierten Geräte sind UL zertifiziert)