Das Mikro-Gasmasse-Durchflussmesser XR-F001 wurde speziell für die Messung und Prozesssteuerung verschiedener Arten von Gasen mit geringem Durchfluss entwickelt. Diese Serie von Sensoren wird mit fortschrittlichen Microelectromechanical Systems (MEMS) Flow Sensor Chips für alle Arten von sauberen Gasen hergestellt. Die einzigartige Verpackungstechnik ermöglicht es, eine Vielzahl von Rohrdurchmessern zu verwenden, kostengünstig, einfach zu installieren, keine Temperatur- und Druckkompensation zu erfordern, und kann herkömmliche Volumen- oder Druckdifferenzmesser ersetzen.