Zhengzhou Chengye Wissenschaftliche Instrumente Co., Ltd.
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Membran Dicke Controller
Kurze Einführung: Der CY-FDC-S-Filmdickenregler eignet sich für eine Vielzahl von Beschichtungsdickenkontrollen wie Elektronenstrahlbeschichtung, Magn
Produktdetails
Details:

Membran Dicke Controller

Technische Merkmale:

1. Vollbetruckbildschirm, einfach zu bedienen;

2.32Eine Membran, jede Membran50/100Schicht automatische Beschichtung;

3. 12Straßensignaleingang/12Schaltvolumenausgang;

4. Vollautomatischer, halbautomatischer und manueller Steuermodus;

5.Steuerbar2Eine Quelle, eine Arbeitsgruppe eine andere Vorlösung;


Technische Parameter

CY-FDC-S Controller

Schwingungsfrequenz

6MHz (optional 2,5M 3M 5M 9M Kristall)

Anzeigemethode

5" Farb Touchscreen + Digital Tube Anzeige Geschwindigkeit und echte Dicke

Betriebsweise

Touchscreen

Enddicke

00μ0000Å-99μ9999Å

Dicke Anzeigeauflösung

1Å/s

Geschwindigkeitsanzeigeauflösung

0.1Å/s

Anzahl der Beschichtungsschichten

32 Membransysteme, jede Membransystem 50/100 Schichten;

Anzahl der Sonden

A B

Werkzeugfaktor

0.01-99.99

Zeitanzeige

00:00:00-23:59:59 H:M:S

Leistungsanzeige

0~99.9%

Vorschmelzleistung

0~99%

Vorbeschichtete Leistung

0~99.9%

Vorschmelzzeit / Vorbeschichtungszeit

0~99:99 m:s

Vorgeschmolzene Isolationszeit

/ Vorbeschichtete Isolationszeit

0~99:99 m:s

Beschichtungsgeschwindigkeit (Einstellgeschwindigkeit)

0~999.9Å/s

Materiallagerung

257 + 10 benutzerdefinierte

Kommunikation

RS232/RS485

Steuerbare Verdunstungsquelle

2, kann ein Set arbeiten, ein anderes Set vorgelöst

Ausgangssteuerung

±10V/5V/2.5V

I/Schnittstelle

12 Signaleingange / 12 Schaltvolumenausgänge

Anzahl regulierbarer Tiegel

1 bis 16

Beschichtung Anzeige

Geschwindigkeitskurve/Wert

Anzahl der Beschichtungsreisen

50/100 Schichten pro Membran automatisch

Gehäusegröße

480 x 280 x 89mm (2U 19" Gehäuse)


Besondere Funktionen:

1Manuell, halbautomatisch, automatisch3Beschichtungsmodus, um eine Vielzahl von Beschichtungsmaschinenkonfigurationen zu erfüllen;

2Künstliche Beendigung der Beschichtung: Künstliche Beendigung der Beschichtung während der Beschichtung;

3Manuelle Steuerung: Bestimmung der Anforderungen an den ersten Beschichtungsprozess;

4Unterbrechungsfilm: Probleme oder Fehler in der automatischen und halbautomatischen Beschichtung gefunden, kann die Beschichtung stoppen und den aktuellen Zustand automatisch speichern, nach dem Fehler **, kann die Beschichtung von der Unterbrechungsfilm fortgesetzt werden;

5Bei der automatischen oder halbautomatischen Beschichtung, wenn die Kristallschwingung ausfällt, können Sie die Beschichtung beenden, die Beschichtung nach der aktuellen Leistungszeit auswählen und den Switch-Chip fortsetzen (Multi-Chip-Sonde);

6Zwei Quellen gleichzeitig vorschmelzen: während der aktuellen Schichtbeschichtung beginnen, können Sie gleichzeitig auf die2Schichten werden vorgeschmolzen, um zeitanspruchsvolle Gelegenheiten zu erfüllen;

7Passwortschutz: Membransystem und Membranschichtparameter Passwortschutzfunktion, um die Prozessparameter nicht von Nicht-Prozesspersonal zu ändern;

8Beschichtungsdatenaufzeichnung: Bei der automatischen oder halbautomatischen Beschichtung kann das System die Filmbildungszeit und die Parameter der Enddicke pro Schicht aufzeichnen.



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