Membran Dicke Controller
Technische Merkmale:
1. Vollbetruckbildschirm, einfach zu bedienen;
2.32Eine Membran, jede Membran50/100Schicht automatische Beschichtung;
3. 12Straßensignaleingang/12Schaltvolumenausgang;
4. Vollautomatischer, halbautomatischer und manueller Steuermodus;
5.Steuerbar2Eine Quelle, eine Arbeitsgruppe eine andere Vorlösung;
Technische Parameter
|
CY-FDC-S Controller |
Schwingungsfrequenz |
6MHz (optional 2,5M 3M 5M 9M Kristall) |
Anzeigemethode |
5" Farb Touchscreen + Digital Tube Anzeige Geschwindigkeit und echte Dicke |
Betriebsweise |
Touchscreen |
Enddicke |
00μ0000Å-99μ9999Å |
Dicke Anzeigeauflösung |
1Å/s |
Geschwindigkeitsanzeigeauflösung |
0.1Å/s |
Anzahl der Beschichtungsschichten |
32 Membransysteme, jede Membransystem 50/100 Schichten; |
Anzahl der Sonden |
A B |
Werkzeugfaktor |
0.01-99.99 |
Zeitanzeige |
00:00:00-23:59:59 H:M:S |
Leistungsanzeige |
0~99.9% |
Vorschmelzleistung |
0~99% |
Vorbeschichtete Leistung |
0~99.9% |
Vorschmelzzeit / Vorbeschichtungszeit |
0~99:99 m:s |
Vorgeschmolzene Isolationszeit / Vorbeschichtete Isolationszeit |
0~99:99 m:s |
Beschichtungsgeschwindigkeit (Einstellgeschwindigkeit) |
0~999.9Å/s |
Materiallagerung |
257 + 10 benutzerdefinierte |
Kommunikation |
RS232/RS485 |
Steuerbare Verdunstungsquelle |
2, kann ein Set arbeiten, ein anderes Set vorgelöst |
Ausgangssteuerung |
±10V/5V/2.5V |
I/Schnittstelle |
12 Signaleingange / 12 Schaltvolumenausgänge |
Anzahl regulierbarer Tiegel |
1 bis 16 |
Beschichtung Anzeige |
Geschwindigkeitskurve/Wert |
Anzahl der Beschichtungsreisen |
50/100 Schichten pro Membran automatisch |
Gehäusegröße |
480 x 280 x 89mm (2U 19" Gehäuse) |
Besondere Funktionen:
1Manuell, halbautomatisch, automatisch3Beschichtungsmodus, um eine Vielzahl von Beschichtungsmaschinenkonfigurationen zu erfüllen;
2Künstliche Beendigung der Beschichtung: Künstliche Beendigung der Beschichtung während der Beschichtung;
3Manuelle Steuerung: Bestimmung der Anforderungen an den ersten Beschichtungsprozess;
4Unterbrechungsfilm: Probleme oder Fehler in der automatischen und halbautomatischen Beschichtung gefunden, kann die Beschichtung stoppen und den aktuellen Zustand automatisch speichern, nach dem Fehler **, kann die Beschichtung von der Unterbrechungsfilm fortgesetzt werden;
5Bei der automatischen oder halbautomatischen Beschichtung, wenn die Kristallschwingung ausfällt, können Sie die Beschichtung beenden, die Beschichtung nach der aktuellen Leistungszeit auswählen und den Switch-Chip fortsetzen (Multi-Chip-Sonde);
6Zwei Quellen gleichzeitig vorschmelzen: während der aktuellen Schichtbeschichtung beginnen, können Sie gleichzeitig auf die2Schichten werden vorgeschmolzen, um zeitanspruchsvolle Gelegenheiten zu erfüllen;
7Passwortschutz: Membransystem und Membranschichtparameter Passwortschutzfunktion, um die Prozessparameter nicht von Nicht-Prozesspersonal zu ändern;
8Beschichtungsdatenaufzeichnung: Bei der automatischen oder halbautomatischen Beschichtung kann das System die Filmbildungszeit und die Parameter der Enddicke pro Schicht aufzeichnen.