Produktbeschreibung

Normaltemperaturkatalytische Gasreinigungsanlage

Speziell für die Massengasreinigung, bietet Ihnen kostengünstige und qualitativ hochwertige Gasreinigungslösungen. Mit den Vorteilen der kompakten Konstruktion, des niedrigen Betriebskosten und der hohen Zuverlässigkeit können Sie Massengegase mit einer Vielzahl von Verunreinigungen effektiv reinigen, um die Anforderungen an ultrareine Gase zu erreichen, bei minimalem Druckabfall und ausgezeichneter kontinuierlicher Arbeitsfähigkeit. Das gesamte System ist mit einem Ausrüstungsdesign ausgestattet und kann in verschiedenen Bereichen mit unterschiedlichen Größenanforderungen eingesetzt werden.

Produktleistung

Geeignet für den Einsatz mit Rohgas mit einer Reinheit von nicht weniger als 99,99%

◎ Dieses Produkt ist eine doppelte Struktur, eine Reihe von Arbeit, eine andere Reihe von Recycling Ersatz

* Verschiedene Verunreinigungen wie Wasser und Sauerstoff nach der Gasreinigung <10ppb

◎ Elektrochemisches Polieren aus Edelstahl 316 (L) ◎ Einbaufilter

◎ Optimales Behandlungszyklus-Design, große Füllmenge des Adsorbents, verlängerte Lebensdauer

◎ Dieses Produkt hat ein kompaktes Layout und eine kleine Fläche

Produktanwendungen

Schutzgasreinigung: Stahl-, Petrochemie- und Maschinenindustrie

◎ Primärreinigung von Gasen, die für die Elektronikindustrie wie hochreines monokristallines Silizium, Chip-Extension, Massenkreiskreise und die Herstellung von photoelektrischen Produkten erforderlich sind.

Halbleiterprozessanlagen: CVD, MOCVD, HVPE, Diffusionsofen usw.

• Große Gasreinigung

Systemparameter