CS100 Massenverflussregler & DurchflussmesserGlobal Supplier

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CS100 Massenverflussregler & Durchflussmesser

CS100-Produkte basieren auf der Technologieplattform der sieben Sterne-Durchflussmesser CS-Serie, basierend auf der konstanten Leistungssensortechnolo

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Produktdetails

Vorteile

• CS100 Produkte sind kundenspezifisch gestaltet,
• Kunden können je nach Bedarf ±15V Dual Power oder +24 Single Power versorgen;
• Metalldichtungen oder Gummidichtungen;
• Die Produktgrößen sind sowohl für Produkte, die den internationalen SEMI-Standards entsprechen, als auch für Dichtprodukte erhältlich.

Technische Parameter

CS100

Modellnummer

CS100A

CS100D

Typ des Ventils

Häufig geschlossen

Keine

Häufig geschlossen

Keine

Durchflussspezifikation (N2)

(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30) SLM

Genauigkeit

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)； ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)

Linear

±0.5% F.S.

Wiederholungsgenauigkeit

±0.2% F.S.

Reaktionszeit

≤ 1sec

Arbeitsdruckdifferenzbereich

0.05～0.35MPa； Durchflussspezifikation ≤10SLM
0.1～0.35MPa ； 10 <Durchflussspezifikation≤30SLM
0.25～0.45MPa ； 30 <Durchflussspezifikation≤50SLM

＜0.02 MPa

0.05～0.35MPa； Durchflussspezifikation ≤10SLM
0.1～0.35MPa； 10 <Durchflussspezifikation≤30SLM

＜0.02 MPa

Temperaturfaktor

Nullpunkt: ≤ ± 0,05% FS / ℃; Einstellung: ≤ ± 0,1% FS / ℃

Druckbeständigkeit

3MPa

10MPa

3MPa

10MPa

Auslaufrate

1×10^-9Pa·m³/ sec He（1×10^-8atm·cc / sec He）

Dichtungsmaterial

Fluor Gummi

Metalldichtung

Maximaler Arbeitsdruck

0.45MPa

Arbeitsumgebungstemperatur

（5～45）℃

Eingabesignal

Simulation:
(0～5)VDC

Nummer: RS485

Keine

Simulation:
(0～5)VDC

Nummer: RS485

Keine

Ausgangssignal

Simulation:
(0～5)VDC

Nummer: RS485

Analog: (0 bis 5) VDC

Nummer: RS485

Simulation:
(0～5)VDC

Nummer: RS485

Simulation:
(0～5)VDC

Nummer: RS485

Stromanschlussform

Typ D 9 Stift
Sonnenverbindung;